pco.edge 5.5 sCMOS相機(jī)在晶圓體檢測中的高效應(yīng)用

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在過去的十年里，人們對碳化硅(SiC)器件的興趣顯著增長。SiC是一種寬帶隙半導(dǎo)體，由于其高能量效率，特別用于高功率、高溫和高頻器件。盡管在過去幾年中，SiC基板和外延片的質(zhì)量有了很大的提高，但堆垛層錯(SFs)和基面位錯(BPDs)等關(guān)鍵缺陷仍可能導(dǎo)致雙極退化，最終導(dǎo)致器件完全失效。

為了在芯片級別上識別這些缺陷，已經(jīng)開發(fā)了不同的表征方法，例如缺陷選擇性蝕刻和X射線地形圖。然而，這兩種方法都不適于在設(shè)備生產(chǎn)過程中進(jìn)行快速的內(nèi)聯(lián)質(zhì)量控制，因為它們要么以破壞性方式工作，要么成本高，時間長，高消耗。

因此，IN EGO開發(fā)了一個新的多通道SiC檢測系統(tǒng)，允許在室溫下快速、無損和無接觸地檢測器件生產(chǎn)鏈上SiC芯片的關(guān)鍵缺陷。

INTEGO的系統(tǒng)專為潔凈室環(huán)境IS04設(shè)計，能夠處理100毫米、150毫米和200毫米SiC基片、外延芯片或部分加工的芯片。塊化系統(tǒng)概念允許在檢查方法、l1lumination類型和分辨能力方面進(jìn)行單獨配置。配合德國Excelitas PCO公司的pco.edge 5.5 sCMOS相機(jī)進(jìn)行檢測，pco.edge 5.5 sCMOS相機(jī)相機(jī)具有高分辨率，高幀速率、低噪聲、高動態(tài)范圍和量子效率，保證了最佳圖像數(shù)據(jù)和最高圖像質(zhì)量。

INTEGO的尖端系統(tǒng)最多可配備三個獨立檢測站，適用于高吞吐量應(yīng)用或靈活的研發(fā)用途。每個站都有一個高精度顯微鏡臺和一個獨立設(shè)計的光致發(fā)光、差分干涉對比度(DIC)或明暗場顯微鏡單元。根據(jù)所選擇的顯微鏡放大倍數(shù)，圖像分辨率可高達(dá)0.3Hm/像素，從而能夠檢測、識別和分類許多不同的缺陷甚至小于1Hm。

 INTEGO的高度定制化系統(tǒng)可有效優(yōu)化和監(jiān)控不同晶圓類型的生產(chǎn)過程，從而節(jié)省材料和器件生產(chǎn)的時間并降低成本。

德國Excelitas PCO公司的pco.edge 5.5 sCMOS相機(jī)，具備高分辨率、高感光度、弱光成像的優(yōu)點，將高速實驗過程完美記錄，為實驗提供強(qiáng)而有力的圖像數(shù)據(jù)支持。

pco.edge 5.5 sCMOS相機(jī)配備享有盛譽(yù)的科學(xué)CMOS（sCMOS）圖像傳感器，可提供清晰圖像和精確測量。pco.edge 5.5 sCMOS相機(jī)可進(jìn)行水冷系統(tǒng)升級，是要求高分辨率、高幀速、16位動態(tài)范圍、可選快門類型和可選彩色圖像傳感器的應(yīng)用的理想之選。

廣州市元奧儀器有限公司作為德國Excelitas PCO公司高速相機(jī)在中國的一級代理商，為客戶提供各種高速成像系統(tǒng)解決方案，如對pco.edge 5.5 sCMOS相機(jī)或其他相關(guān)產(chǎn)品感到興趣，歡迎前來咨詢。

（文獻(xiàn)部分內(nèi)容摘抄）

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